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该表面测量方法向被测量面(100d)照射相干光束(10),将由被测量面(100d)反射的反射光投射至屏幕(102)而形成光学像(280),在由光学传感器(107)对光学像(280)进行拍摄时,在使屏幕(102)向一个方向连续移动的状态下实施由该光学传感器(107)进行的拍摄。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112840206 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 201980057651.5 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
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