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一种方法,包括:使用电磁辐射源在一时间段内扫描样本,该时间段包括第一时间段和第二时间段,电磁辐射源的样本部分被引导到光学干涉系统的样本臂中的样本,而电磁辐射源的参考部分被引导到光学干涉系统的参考臂;使用相位调制器将包括第一相移和第二相移的相移施加到电磁辐射源的参考部分或样本部分中的至少一者,在第一时间段期间施加第一相移而在第二时间段期间施加第二相移,第二相移与第一相移相差90度;基于在第一时间段期间的第一反向散射电磁辐射与经受第一相移的参考部分或样本部分中的至少一者之间的第一干涉,来采集同相数据
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112839568 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 201980064573.1 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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