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本发明涉及新材料技术领域，特别涉及一种掺杂二氧化钒薄膜及其制备方法和应用。本发明公开了一种掺杂二氧化钒薄膜的制备方法，属于无机化学和功能材料制备技术领域。本发明采用超声雾化法制备二氧化钒薄膜，具体是将四价钒盐溶液和一定比例的掺杂剂、成膜剂混合，得到前驱液，然后再将前驱液通过超声雾化形成雾滴并沉积在基材上，然后在惰性气氛下进行热分解，制得掺杂二氧化钒薄膜。采用本发明的方法所制得掺杂二氧化钒薄膜，操作简单，表面均匀，可以应用于相变器件领域。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116216778 A
(43)申请公布日 2023.06.06
(21)申请号 202211644646.4
(22)申请日 2022.12.20
(71)申请人 成都先进金属材料产业技术研究院
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