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本发明专利公开了一种探针测试系统、其操作方法及检测方法，探针测试系统包括机座、探针头冶具、探针点触冶具、压力检测装置、移动装置、控制板卡、电源板卡和工控机。探针头冶具装设在工作台表面，用于固定被测探针。探针点触冶具位于工作台上方，包括支撑件组件和垂直针，支撑件组件用于固定垂直针，使垂直针与电流检测装置电连接。被测探针与垂直针在移动装置的带动下相向触碰，以通过压力检测装置和电流检测装置测试被测探针的电气和力学性能。本发明通过探针测试系统各个部件的具体结构和相互配合实现了该系统能够稳定测试和评估探针
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112903022 B
(45)授权公告日 2022.07.19
(21)申请号 202110153499.X 审查员 王晟哲
(22)申请日 2021.02.04
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