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本发明公开了一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构，包括静平台、3条可伸缩的运动支链、动平台、以及3个相同的压电惯性驱动器。静平台和动平台之间通过柔性球副以及柔性虎克铰来连接，运动支链采用具有位移感知功能的直线式惯性压电作动器。作动器包括比例式线性霍尔传感器、作动体、运动单元、圆柱形外壳、永磁体、底座。该三维平台采用柔性铰链替代传统运动副，具有易于实现装备的小型化，提高重复定位精度，高运动灵敏度等优点，同时使平台达到静稳定状态，避免运输过程中发生的振动和碰撞问题。宏微复合运动平台是通过宏运
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112904551 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110045940.2
(22)申请日 2021.01.14
(71)申请人 中国
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