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本发明实施例公开了一种监测熔体液面位置的方法、系统及计算机存储介质；该方法应用于导流筒底部设置有凹面镜的拉晶炉中，其中，所述凹面镜的镜面朝向熔体液面，所述方法包括：采集所述凹面镜的反射光束在所述熔体液面所形成光斑的第一图像；通过控制石英坩埚的升降以使得所述第一图像中的光斑尺寸最小；当所述光斑尺寸为最小尺寸时，通过计算最小尺寸光斑与所述导流筒底部之间的距离以获得所述熔体液面与所述导流筒底部之间的目标间距。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112903060 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 202110129542.9
(22)申请日 2021.01.29
(71)申请人 西安奕斯伟硅片技术有限公司
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