高度测定方法以及高度测定装置.pdfVIP

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2023-06-09 发布于四川
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高度测定方法以及高度测定装置.pdf

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本发明涉及高度测定方法以及高度测定装置。高度测定装置具有：液体谐振式的透镜系统(3)；将驱动信号(Cf)输出到透镜系统(3)的透镜控制部(6)；对工件进行连续照明的连续照明部(5)；通过透镜系统(3)检测工件的图像的图像检测部(4)；根据由图像检测部(4)检测到的检测图像(Im)来运算EDOF图像的图像运算部(722)；使驱动信号(Cf)的振幅增减来增减EDOF图像的扩展焦点深度的焦点深度调整部(723)；对在EDOF图像中出现的工件的关注部位的对焦状态进行判定的对焦判定部(724)；以及测定关

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112902858 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 202011392787.2 (22)申请日 2020.12.02 (30)优先权数据 2019-2185