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一种基于神经网络的晶圆测试检测方法.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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一种基于神经网络的晶圆测试检测方法.pdf

    本申请提供了一种基于神经网络的晶圆测试检测方法，涉及晶圆检测领域，包括如下步骤：对标准晶圆进行分层扫描，获得扫描标准图像并发送给计算机进行处理，获矩阵化组合化标准图像；对待测晶圆进行分层扫描，获得扫描待测图像并处理获得矩阵化组合化待测图像；用矩阵化组合化标准图像作为检测依据对矩阵化组合化待测图像进行检测，获得检测矩阵化组合化图像；对检测矩阵化组合化图像进行去矩阵化，获得检测组合化图像；对检测组合化图像进行差异筛选，获得差异筛选组合化图像；对差异筛选组合化图像进行去组合化，获得差异筛选图像；对差异

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115711900 A (43)申请公布日 2023.02.24 (21)申请号 202211513044.5 (22)申请日 2022.11.30 (71)申请人 安测半导体技术（江苏）有限公司 地址

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