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本发明提供了一种太阳能电池及其制作方法。一种太阳能电池，包括Ge衬底；设置于Ge衬底表面的图形化背电极，其中图形化背电极包括厚度一致的第一金属层和网格状的第二金属层；设置于Ge衬底远离图形化背电极一侧表面的外延层；设置于外延层表面的负电极；以及完全覆盖负电极的减反膜。本发明采用一次蒸镀的方法制备图形化的背电极，相较于光刻技术和二次蒸镀技术，制作成本降低；相对于未图形化的背电极，降低了电池切割前后的翘曲程度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112909101 B
(45)授权公告日 2021.12.14
(21)申请号 202110063565.4 H01L 31/0224 (2006.01)
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