一种基于CQP的激光干涉仪与光轴精密定位调装装置及方法.pdfVIP

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2023-06-11 发布于四川
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一种基于CQP的激光干涉仪与光轴精密定位调装装置及方法.pdf

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本发明为解决实际光束光轴的定位精度低的问题，提出一种基于CQP的激光干涉仪与光轴精密定位调装装置及方法，其中装置包括激光光源、CQP系统、数据处理单元、参考标准件和三坐标测量机，CQP系统包括一个分束镜和两个探测器；三坐标测量机用于测量参考标准件的位置信息。根据CQP系统输出信号调节光束至与CQP主轴重合，采用三坐标测量机计算CQP系统主轴与参考标准件的相对位置关系；将CQP系统放置在目标安装位置，根据实际光轴位置结合相对位置关系，采用三坐标测量机计算参考标准件的安装位置，并将参考标准件安装在相

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113008132 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202110201508.8 WO 2014108874 A1,2014.07.17 (22)申请日