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本发明涉及一种测量等离子体阻抗和功率的方法及装置。该方法包括以下步骤：获取电压波形和电流波形；根据所述电压波形获取电压振幅和电压相位；根据所述电流波形获取电流振幅和电流相位；根据所述电压相位和所述电流相位进行相位差校准，得到V‑I相位差；根据所述电压波形、所述电流波形、所述电压振幅、所述电流振幅和所述V‑I相位差计算等离子体的阻抗和功率。本发明针对现有技术存在的问题，对脉冲射频电源进行脉冲调制，通过延长脉冲“关闭”时间，对V‑I相位差进行校准，进而得到射频功率和等离子体阻抗随时间的演化过程；当等
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113015307 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 202110225487.3
(22)申请日 2021.03.01
(71)申请人 大连理工大学
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