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本发明提供一种薄膜电阻元件及其制造方法,该薄膜电阻元件的制造方法,包含依序形成电阻层、中间层及电极层于基板的表面上,先移除部分电极层、中间层及电阻层以形成第一图案,以及移除部分电极层及中间层以形成第二图案于电阻层上,藉中间层将小面积的电极层定型于电阻层上,可得到具有低接触阻抗特性的薄膜电阻元件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112992447 A
(43)申请公布日
2021.06.18
(21)申请号 20201
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