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可灵活调整溅射范围的物理气相沉积设备.pdfVIP

可灵活调整溅射范围的物理气相沉积设备.pdf

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    本发明提供一种可灵活调整溅射范围的物理气相沉积设备，包括腔体、溅射装置、基座、挡板、驱动装置、驱动齿轮、传动齿轮及多个可动遮挡单元；挡板包括第一部分和第二部分，第一部分沿腔体的周向分布，第二部分一端与第一部分的底部相连接，另一端向腔体的中心方向延伸；驱动齿轮和传动齿轮相啮合；多个可动遮挡单元位于传动齿轮的内侧，各可动遮挡单元包括相互连接的啮合部和遮挡部，啮合部与传动齿轮相啮合，相邻的遮挡部部分重叠，以在遮挡部的内侧形成溅射通道；驱动装置与驱动齿轮相连接；当驱动齿轮在驱动装置的驱动下旋转时，传动齿

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112981352 B (45)授权公告日 2021.08.06 (21)申请号 202110508314.2 (56)对比文件

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