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本公开涉及半导体结构及其制造方法,通过在粘合层中设置围绕导通孔的阻挡层,以阻挡反射至粘合层上的光,以尽量避免出现导通孔的孔底扩孔现象,提高导通孔的质量,进而提高半导体结构的稳定性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112992826 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202110133912.6
(22)申请日 2021.02.01
(71)申请人 日月光半导体制造股份有限公司
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