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本发明提出一种用于制造微机电传感器(1)的方法,其中,微机电传感器(1)通过罩晶片(2)与传感器晶片(3)的连接制造,其中,罩晶片(2)具有用于使罩晶片(2)与传感器晶片(3)连接的键合结构(4),其中,传感器晶片(3)具有传感器芯(5),该传感器芯具有可运动结构(6),并且罩晶片(2)具有用于限界可运动结构(6)的偏移的止挡结构(7),其中,方法具有第一步骤和在第一步骤之后进行的第二步骤,其中,止挡结构(7)的止挡面位于未加工的罩晶片的初始面的水平上。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113056437 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 201980075110.5 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司
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