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本发明实施例提供一种半导体装置。半导体装置包括半导体鳍片以及栅极结构，半导体鳍片形成于基板上；栅极结构位于半导体鳍片的通道区域之上，上述栅极结构包括栅极介电层及栅极电极，其中上述栅极介电层包括底部分及侧部分，且上述栅极电极与上述栅极介电层的侧部分通过第一气隙而分开。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113113492 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110095864.6 H01L 21/336 (2006.01) (22)申请日

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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