p型杂质扩散组合物及其制造方法、使用其的半导体元件的制造方法和太阳能电池.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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p型杂质扩散组合物及其制造方法、使用其的半导体元件的制造方法和太阳能电池.pdf

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本发明的课题在于提供一种能够在半导体基板上均匀扩散和提高涂布液的保存稳定性的p型杂质扩散组合物。一种p型杂质扩散组合物，其包含(a)选自聚乙烯醇和聚环氧乙烷中的至少1种树脂、(b)溶剂以及(c)包含第13族元素的化合物，其特征在于，组合物的pH为4～6.5，(b)溶剂包含(b‑1)沸点为110℃以上、210℃以下的有机溶剂和(b‑2)水，(b‑2)水的量为(b)溶剂中的10～50质量％。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169247 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980077286.4 (74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限