用于离子源的四极管提取设备.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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用于离子源的四极管提取设备.pdf

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一种用于离子源的电极系统，其具有在离子源腔室中限定源孔径的源电极，并且耦接至源电源。第一接地电极限定第一接地孔径，该第一接地孔径电性耦接至电接地电位且从离子源提取离子。抑制电极定位于第一接地电极的下游并且限定电性耦接至抑制电源的抑制孔径。第二接地电极定位于抑制电极的下游并且限定第二接地孔径。第一接地电极和第二接地电极固定地彼此耦接并且电性耦接至电接地电位。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169004 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980080219.8 奈尔 ·巴森　