抛光垫及其制造方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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抛光垫及其制造方法.pdf

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提供能够设定任意的尺寸、并且容易进行向研磨装置的安装的抛光垫。抛光垫(1)具有多个垫片(3a～3f)、多个接合部、以及多个槽部(2)。垫片(3a～3f)分别具有将抛光垫(1)分割为多个区域而成的面状，通过将它们组合，由此作为整体而构成研磨层。接合部沿垫片(3a～3f)的接合边界(B)而设置，并将相邻的垫片的端面彼此一体不可分地接合。多个槽部(2)设置为在研磨层的表面凹陷成条纹状，且它们的至少一部分与接合边界(B)(接合部)在位置上对应。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113165141 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201880099779.3 (51)Int.Cl.