1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种线扫描膜厚测量系统.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约2.31万字
  • 约 24页
  • 2023-06-17 发布于四川
  • 举报

一种线扫描膜厚测量系统.pdf

    本发明公开了一种线扫描膜厚测量系统，包括：照射模块、光谱成像模块和数据处理模块；所述照射模块采用离散分布的光纤，用于产生离散的线性平行光束，垂直照射待测样品；所述光谱成像模块，用于采集待测样品被照射后表面形成的干涉光，生成具有位置维度和光谱维度的二维图像；所述数据处理模块，用于对二维图像进行功率谱分析得到待测样品膜厚。本发明照射模块采用离散分布的光纤，产生离散的线性平行光束，离散测量可以测得远多于单点测量所获得的膜厚，所得到的膜厚分布更接近真实分布。同时产生离散的线性平行光束，减少了膜厚叠加情况

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113267130 B (45)授权公告日 2022.08.05 (21)申请号 202110658140.8 审查员 郑俊 (22)申请日 2021.06.11

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >