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本发明特别涉及一种用于获得台面(550A、550B)的方法,台面至少部分地由氮化物(N)制成的,该方法包括以下连续步骤:‑提供叠置件,该叠置件包括基板(100)和从该基板(100)起连续地布置的至少下述层:‑第一层,被称为流变层(200);‑第二结晶层,被称为结晶层(300);‑通过对流变层(200)的至少一部分(220)和结晶层(300)进行蚀刻来形成垫(1000A1‑1000B4),使得:每个垫(1000A1‑1000B4)至少包括:‑第一部分,其被称为流变部分(200A1‑200B4),其
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114258591 A
(43)申请公布日 2022.03.29
(21)申请号 202080057484.7 耶苏 ·祖尼加 ·佩雷斯
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