一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统.pdf

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本发明属于光学精密装调技术领域，特别涉及一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统；在本发明内，应用温度监控模块对被测光学组件周边的温度进行监测的同时，也应用振动监控模块对被测光学组件的振动情况进行监测，应用内部位姿监测模块对被测光学组件的自身姿态情况进行监测；本发明能够在进行性能测试的同时，同步监测外部环境状态，为后续的精密装调提供数据依据，而且还同时衡量光学组件相对于系统整体以及相对于自身机械结构的位置变化。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113375907 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110808481.9 (22)申请日 2021.07.16 (71)申请人中国科学院长春光学精密机械与物