使用投影参照物来引导校正光学器件的调节的成像系统和方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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使用投影参照物来引导校正光学器件的调节的成像系统和方法.pdf

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使用投影参照物来引导校正光学器件的调节的系统和方法。在示例性方法中，可以通过光大致沿光轴传播而将参照物投影到成像检测器上，该光轴从参照物通过物镜延伸到达样品保持器的表面，并且从该表面通过物镜返回延伸到成像检测器。光可以传播通过位于成像检测器上游并与光轴间隔开的离轴光圈。可以使用成像检测器并且利用校正光学器件在两个或更多个不同设置下捕获参照物的多个图像。可以基于多个图像选择用于校正光学器件的设置，并且可以在校正光学器件具有所选设置时对样品进行成像。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113396350 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202080013094.X (74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理