多功能高分辨透射光栅X射线谱仪.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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多功能高分辨透射光栅X射线谱仪.pdf

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一种多功能高分辨透射光栅X射线谱仪，在真空室的前法兰至后法兰之间依次设置前光阑组件、滤膜组件、X射线晶体准直管组件、多功能透射光栅组件和后光阑组件，在所述的后光阑组件后是X射线CCD。该谱仪测量的波长范围为1nm‑1μm(1.2eV‑1.2keV)，测量波长精度最高为0.1nm。本发明通过晶体准直管对X射线的准直和聚焦，解决了目前其他透射光栅谱仪分辨率低和对X射线强度要求较高的缺点，通过多功能透射光栅组件的平动控制实现了多功能测量，既可利用透射光栅测量X射线光谱，又可以直接测量X射线的空间分布，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113433151 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110632692.1 (22)申请日 2021.06.07 (71)申请人中国科学院上海光学精密机械研究