阵列基板及其制备方法、显示面板.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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阵列基板及其制备方法、显示面板.pdf

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本发明公开了一种阵列基板及其制备方法、显示面板，阵列基板包括衬底、第一金属层、缓冲层和半导体层，第一金属层包括源极、漏极和遮光部，缓冲层覆盖第一金属层，半导体层设于缓冲层上，半导体层通过贯穿缓冲层的第一过孔与源极电连接，半导体通过贯穿缓冲层的第二过孔与漏极电连接。本发明通过将源极、漏极与遮光部同层设置于衬底上，源极、漏极与遮光部可采用同一道黄光制程形成，减少了光罩数量和制程步骤，有利于降低成本。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113437090 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110650642.6 (22)申请日 2021.06.11 (71)申请人深圳市华星光电半导体显示技术有