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本发明提供了一种用于红外探测器小孔腐蚀的腐蚀液,包括作为溶剂的水,以及溶于水中的溶质,所述溶质包括盐酸、醋酸和氯化锌。另外,本发明还提供了红外探测器小孔腐蚀方法,包括在衬底牺牲层上沉积硫化锌层,作为增透膜;在硫化锌层上沉积非晶硅层,作为红外透过层和硫化锌湿法腐蚀的硬掩模版;对非晶硅层进行光刻、干法刻蚀和去胶,得到释放孔前驱体;用上述腐蚀液对硫化锌层进行单片式湿法腐蚀,得到所需要的小孔。该发明以盐酸作为腐蚀剂,并在盐酸中引入水、醋酸和氯化锌分别作为稀释剂、缓冲剂和保护剂,有效避免了硫化锌湿法腐蚀过
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113621374 B
(45)授权公告日 2022.05.31
(21)申请号 202110692055.3 B81C 1/00 (2006.01)
(22)申请日 2021.06.
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