原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及清洁方法、半导体器件的制造方法、记录介质、衬底处理装置。能够通过对衬底进行等离子体处理使在反应容器的内表面上形成的沉积膜的除去变得容易。具有通过将包括下述工序的循环执行规定次数，使沉积膜改性为包含氧化层及氮化层的膜的工序：(a)向在内表面上形成有沉积膜的反应容器内供给含氧气体，并对含氧气体进行等离子体激发，从而使沉积膜氧化的工序；和(b)向反应容器内供给含氮气体，并对含氮气体进行等离子体激发，从而使沉积膜氮化的工序。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116329192 A
(43)申请公布日 2023.06.27
(21)申请号 202211520696.1
(22)申请日 2022.11.29
(30)优先权数据
文档评论（0）