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本申请公开了一种流量传感器及其制作方法，所述方法包括：提供柔性衬底(1)；在所述柔性衬底(1)表面形成牺牲层(2)；在所述牺牲层(2)上形成加热电阻(3)，所述加热电阻(3)位于所述柔性衬底(1)表面的中心；在所述柔性衬底(1)表面形成多个焊盘(4)，多个所述焊盘(4)绕所述柔性衬底(1)表面的中心阵列分布；在所述牺牲层(2)上形成多个导线(5)，每个所述导线(5)连接在所述加热电阻(3)及相应所述焊盘(4)之间；去除所述牺牲层(2)；使所述柔性衬底(1)径向收缩，以使所述加热电阻(3)远离所述
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114964400 A
(43)申请公布日 2022.08.30
(21)申请号 202210668802.4
(22)申请日 2022.06.14
(71)申请人 南京高华科技股份有限公司
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