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2023-07-02 发布于四川
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对准标记的形成方法.pdf

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本发明涉及一种对准标记的形成方法。所述对准标记的形成方法包括如下步骤：形成对准图案和环绕所述对准图案外周分布的介质层，所述对准图案包括呈周期性排布的多个第一重复结构单元，所述第一重复结构单元用于增大所述对准图案与所述介质层之间的反射率差；获取所述对准图案的对准反射率、以及所述介质层的介质反射率；判断所述对准反射率与所述介质反射率之间的差值是否高于预设值，若是，则以所述对准图案作为所述对准标记。本发明确保了最终得到的所述对准标记与所述介质层之间的具有较高的反射率差，实现了所述对准标记与所述介质层之

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113725195 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202111012207.7 (22)申请日 2021.08.31 (71)申请人长江