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存储器装置和包括存储器装置的存储系统.pdf

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提供了存储器装置和包括存储器装置的存储系统。所述存储器装置包括:下结构;堆叠结构,位于下结构上,堆叠结构包括沿竖直方向交替地堆叠的水平层和层间绝缘层,并且水平层中的每个包括栅电极;垂直结构,沿竖直方向穿透堆叠结构,垂直结构具有核心区、位于核心区上的具有垫金属图案的垫图案、介电结构以及位于介电结构与核心区之间的沟道层,介电结构包括面对核心区的侧表面的第一部分、面对垫金属图案的侧表面的至少一部分的第二部分以及数据存储层;接触结构,位于垂直结构上;以及导电线,位于接触结构上。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113809092 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202110654337.4 (22)申请日 2021.06.11 (30)优先权数据

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