基板处理装置、振动检测系统以及计算机可读取记录介质.pdfVIP

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2023-07-05 发布于四川
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基板处理装置、振动检测系统以及计算机可读取记录介质.pdf

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本发明的目的在于降低由基板的位置错位造成的对生产效率的风险。提供以下的结构，该结构具备：载置部，其载置基板收容器；基板保持工具，其保持被收纳在基板收容器内的基板；各运送机构，其在载置部载置的基板收容器与基板保持工具之间进行基板的领取，并进行基板保持工具的升降以及旋转等运送动作；检测部，其被设置于该各运送机构中任意一个以上的运送机构，来检测振动；存储部，其预先登记基板的固有振动频率以及阈值；以及监视部，其对基于从检测部检测出的检测数据转换而得的转换数据的振动强度与上述阈值进行比较，监视基于转换数据

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109314074 A (43)申请公布日 2019.02.05 (21)申请号 20168