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本发明涉及光谱检测设备领域,公开了一种衍射元件、高分辨率光谱仪及光谱检测方法。待测光源通过准直透镜平行入射到所述光谱仪的衍射元件上,所述衍射元件由多个衍射光栅单元构成,所述衍射光栅单元的刻痕密度分布和/或刻痕倾斜方向不同,待测光经过所述衍射元件后发生无规则散射,通过图像传感器记录待测光在零级衍射处和一级衍射处的散斑图案,再由光谱分析系统将所述散斑图案与波长‑散斑图案标准库进行比对,反推出待测光的光谱数据。本发明的光谱仪结构简单、具有高分辨率,并且人为可控、可进行批量生产,同时使用该光谱仪进行光谱
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 108827471 A
(43)申请公布日
2018.11.16
(21)申请号 20181
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