一种拼接镜曲率半径相对误差检测方法及装置.pdfVIP

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2023-07-19 发布于四川
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一种拼接镜曲率半径相对误差检测方法及装置.pdf

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本发明涉及光学检测技术领域，具体涉及一种拼接镜曲率半径相对误差检测方法及装置。该方法及装置原理基于波前传感技术，首先根据两个待测反射镜的相对孔径选择对应相对孔径的扩束镜头；再通过基于类似泰曼格林干涉仪光路结构的波前传感系统配以扩束镜头对两个待测反射镜的曲率半径相对误差进行检测，获取得到两个待测反射镜的曲率半径相对误差，本发明结合相应的波前传感算法，可实现非接触、自动化、拼接镜子镜间曲率半径相对差值的测量，弥补了现有技术中未出现面向拼接镜曲率半径检测的，非接触式、解耦活塞误差的拼接镜曲率半径相对误

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116448009 A (43)申请公布日 2023.07.18 (21)申请号 202310132461.3 (22)申请日 2023.02.17 (71)申请人中国科学院长春光