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本发明提供一种边缘夹持型晶圆卡盘装置，涉及半导体技术领域，包括：晶圆承载平台和卡盘底座，所述晶圆承载平台上对称设置至少一组用于夹紧待清洗晶圆的夹持治具，所述卡盘底座上设置握臂重力块和握臂，握臂重力块与握臂的第一端连接，握臂的第二端与夹持治具连接，用于在握臂重力块的自身重力作用下，通过握臂带动所述夹持治具将待清洗晶圆夹紧；驱动装置包括气缸和伸缩杆，伸缩杆的第一端与握臂重力块固定连接，气缸可推动伸缩杆的第二端；监测装置包括感应器和设置在伸缩杆的第二端上的标记物，控制系统与感应器连接，用于实时获取感应
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116454015 A
(43)申请公布日 2023.07.18
(21)申请号 202310722037.4
(22)申请日 2023.06.19
(71)申请人 北京芯士联半导体科技有限公司
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