一种半导体设备ALD氮化钛装置喷头旋转打磨治具.pdfVIP

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2023-07-19 发布于四川
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一种半导体设备ALD氮化钛装置喷头旋转打磨治具.pdf

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本实用新型公开了一种半导体设备ALD氮化钛装置喷头旋转打磨治具，所述旋转打磨治具呈杯状，杯状治具包括治具底面和治具圆周面；所述治具底面上开设有用于安装在旋转台上的沉头孔以及用于排除积水的漏水孔；且所述治具底面为第一台阶面；所述治具圆周面中间沿径向朝向外侧凹陷形成有第二台阶面，所述第二台阶面的外径等于铝材边沿的外径，第二台阶面的内径大于铝材圆柱的外径；所述第二台阶面上方的圆周面内表面沿周向均匀设置有多个定位凸起，所述盆状喷头的铝材边沿外表面与多个定位凸起一一对应的设置有多个定位凹槽；治具上设有圆周

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214265162 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202022868421.X (22)申请日 2020.12.03 (73)专利权人上海富乐德智能科技发展有限公