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超高真空钛升华装置.pdfVIP

超高真空钛升华装置.pdf

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    本实用新型公开了超高真空钛升华装置，包括泵壳，泵壳的底部开设有抽气口，泵壳内部设有引线柱，引线柱的杆壁固定连接有夹环和钼夹环，夹环和钼夹环之间设有钛钼丝，钛钼丝的两端分别位于夹环和钼夹环之间设置，泵壳的顶部设有固定板，固定板通过两个支撑杆与泵壳固定连接，引线柱的顶部依次贯穿泵壳和固定板的侧壁并向外延伸设置，引线柱延伸至外部的一端固定设有室外接线柱，抽气口的侧壁通过两个连杆固定连接有锥形板，抽气口的底部还固定连接有环形块，且环形块上设有阻挡机构。本实用新型能够防止钛膜脱落的可能，防止污染真空室，同

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209892397 U (45)授权公告日 2020.01.03 (21)申请号 20192

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