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本实用新型涉及一种晶圆多片取放倾斜抓手，包括固定于机械臂上的连接法兰；所述的连接法兰相对机械臂的另一端设置有基板；所述基板的若干端部设置有吸盘板；所述的吸盘板连接有吸盘。通过在连接法兰下设置基板，基板上的至少三个第一支撑悬臂，能够连接至少三个吸盘板以及吸盘，所以通过该设计在单次拿取过程中，能够同时抓取至少三片晶圆，可以完成晶圆研磨设备毛坯晶圆上料和成品晶圆下料机构复用，缩短上、下料时间周期，提高抛光生产效率，节约成本。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219403797 U
(45)授权公告日 2023.07.25
(21)申请号 202320411811.5
(22)申请日 2023.03.07
(73)专利权人 北京日扬弘创科技有限公司
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