一种基于对比学习的光刻工艺窗口检测方法.pdfVIP

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2023-07-26 发布于四川
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一种基于对比学习的光刻工艺窗口检测方法.pdf

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本发明提供了一种基于对比学习的光刻工艺窗口检测方法，包括：获取光刻条件集中的光刻条件及所述光刻条件对应的全部光刻图像即待测光刻图像和目标光刻图像，将所述全部光刻图像即待测图像与目标图像对齐，在训练完成的重建神经网络模型中输入对齐后的光刻图像，将对齐后的光刻图像重建为保留轮廓细节并且去除背景噪声的重建光刻图像，将重建待测图像和重建目标图像输入训练完成的对比学习网络计算相似度，当重建待测图像与重建目标图像之间相似度满足要求和约束时对应的待测图像判定为合格，全部合格待测图像对应的光刻条件为目标光刻工艺

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116482943 A (43)申请公布日 2023.07.25 (21)申请号 202310455894.2 G06N 3/0499 (2023.01)