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本实用新型公开了一种压电传感器,包括底座、设置在底座上的第一胶粘层,设置在第一胶粘层上的压电薄膜层、设置在压电薄膜层上的第二胶粘层、设置在第二胶粘层上的质量块、以及盖设在底座上的外壳,所述压电薄膜层包括支撑体,依次设置在支撑体上的第一电极、压电薄膜和第二电极,所述压电薄膜的厚度为0.1‑10μm,所述外壳包括顶部和侧壁,所述顶部位于底座的上方,所述侧壁与顶部和底座连接,所述质量块与顶部之间设有连接件,所述顶部的厚度小于侧壁的厚度。本实用新型的压电传感器结构简单、体积小、重量轻、且适用于批量化生产
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209947874 U
(45)授权公告日
2020.01.14
(21)申请号 20192
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