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低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管.pdfVIP

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  • 2023-08-03 发布于四川
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低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管.pdf

    本实用新型给出了一种低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管；包括骨架和石英玻璃纤维，骨架为两端开口的圆管状，骨架的外壁契合低压化学气相沉积真空管式炉的石英管内壁轮廓，骨架设有容纳内孔载片舟的内孔，石英玻璃纤维完全包裹在骨架外壁和内孔侧壁上形成石英玻璃纤维层，石英玻璃纤维层外侧镀有与低压化学气相沉积真空管式炉中反应气体产生的沉积物相同的沉积层。将本柔性衬管套装在低压化学气相沉积真空管式炉的石英管内壁上，沉积物沉积到本低压化学气相沉积真空管式炉的柔性衬管上，可以阻挡沉积物沉积到低压化学气相沉积真空管式

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209974890 U (45)授权公告日 2020.01.21 (21)申请号 20192

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