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2023-08-07 发布于四川
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本实用新型公开了一种切膜装置，包括切割组件、以及用于带动切割组件移动的移动驱动组件；移动驱动组件包括支撑台、设于支撑台的第一驱动模组、与第一驱动模组的输出端相连的第二驱动模组、以及与第二驱动模组的输出端相连的第三驱动模组；切割组件包括切割固定台、切刀组件、以及设于切割固定台且用于驱动切刀组件完成切割动作的切割驱动组件。移动驱动组件带动切割组件伸入贴膜装置的上型腔与下型腔之间的间隙，切割组件对完成贴膜的晶圆等待切割产品进行切膜，沿着待切割产品的边界将干膜切割实现晶圆与干膜的分离，也即无需将晶圆及干

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210025470 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20192