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低成本CAS系统微晶玻璃结构与性能的研究的开题报告 一、研究背景及意义 CAS（Chemical Amplification System）技术是当今微电子工业中主要的光刻技术之一，其具有高分辨率、高精度、高速度等优点，但由于高准确度的光刻和微加工需要采用高质量的透明衬底和半导体材料，导致CAS技术的昂贵。与此同时，微晶玻璃作为一种低成本、高质量的衬底材料，被广泛应用于MEMS（Micro-electro-mechanical System）和微电子领域。因此，研究低成本CAS系统微晶玻璃结构及其性能，对于拓宽CAS技术应用领域，提高CAS技术的可行性以及推动微晶玻璃材料在光刻领域的应用具有重要意义。 二、研究内容及方法 1、研究目标：研究低成本CAS系统微晶玻璃的结构和性能 2、研究内容： （1）了解和熟悉光刻技术和CAS系统的原理和应用 （2）选取合适的微晶玻璃作为衬底，并制备不同厚度的微晶玻璃样品 （3）采用CAS技术在微晶玻璃上进行光刻，并根据样品的成像结果进行评价和分析 （4）对光刻结果进行物理学、化学和力学等性能测试 3、研究方法： （1）文献调研法：阅读相关文献，了解CAS技术的原理和应用，掌握光刻工艺流程 （2）实验室方法：制备微晶玻璃样品，采用CAS技术进行光刻，进行各项性能测试 三、预期成果 1、在微晶玻璃样品上验证CAS技术的可行性，提高CAS技术的应用领域； 2、丰富微晶玻璃在光刻领域的应用，推动微晶玻璃材料的发展； 3、为光刻技术和CAS系统的研究提供参考。 四、进度安排 第一阶段：文献调研和光刻工艺流程的学习和掌握；时间：3个月 第二阶段：制备微晶玻璃样品；时间：2个月 第三阶段：采用CAS技术进行光刻，进行样品成像结果的评价和分析；时间：3个月 第四阶段：对样品进行物理学、化学和力学等性能测试；时间：2个月 总计时长：10个月 五、预算及资源需求 本项目所需经费预估为10万元，主要用于实验材料、设备和人员费用等。实验室已有所需仪器和设备，但需要购买一些新的实验材料和化学试剂。实验所需人员包括指导老师、研究生和其他技术人员。