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- 2023-08-14 发布于四川
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该实用新型涉及一种晶圆转角度机，包括：夹具，连接至转动轴，用于夹持待转角度的晶圆，并跟随转动轴转动；转动轴，连接至旋转电机，用于跟随旋转电机的输出轴转动；旋转电机，用于控制转动轴转动。本实用新型中的晶圆转角度机包括夹具和转动轴，转动轴连接到旋转电机，在旋转电机的控制下进行旋转，并带动夹具夹持的晶圆进行旋转，从而实现晶圆的定位槽的校准，简单方便。更优的，由于夹具具有多个相互平行的夹层，每一夹层对应可夹持一个待转角度的晶圆，因此使用该晶圆转角度机可以同时对多个晶圆转角度，可同时实现多个晶圆的定位槽的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210092036 U
(45)授权公告日
2020.02.18
(21)申请号 20192
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