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    本发明的一个实施方式公开了一种由氮化铝烧结体制成的静电吸盘，其中，所述氮化铝烧结体包含氮化铝和沿着所述氮化铝的晶界形成的复合氧化物，其中，其中所述复合氧化物包含：彼此具有固溶关系的至少两种稀土金属，和氧含量比周围区域更高的捕集区域。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110892520 A (43)申请公布日 2020.03.17 (21)申请号 20188

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