抛光液循环搅拌机构.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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抛光液循环搅拌机构.pdf

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本申请公开了一种抛光液循环搅拌机构，包括罐体，罐体内设有分流结构，分流结构包括分流块和多个硬水管，分流块与罐体底部内壁固定连接，分流块的顶部凹设有进液口，分流块的外壁上凹设有多个与进液口连通的出液口，多个进液口呈环形依次设置，多个硬水管与多个进液口一一对应设置，硬水管的一端与出液口连通，硬水管未与出液口连通的一端设有弯折部。该搅拌机构通过结构配合使得抛光液从硬水管的弯折部喷出，使得抛光液形成流动，从而实现搅拌，防止抛光液沉淀，保证抛光液的均匀度，抛光液使用效果更佳。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116603411 A (43)申请公布日 2023.08.18 (21)申请号 202310515939.0 (22)申请日 2023.05.09 (71)申请人声达半导体设备（江苏）有限公司地