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用于切割衬底的台和衬底切割装置.pdfVIP

用于切割衬底的台和衬底切割装置.pdf

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    本申请涉及用于切割衬底的台以及衬底切割装置。该台包括支承构件和第一管线，其中：支承构件用于将衬底安装在其上，包括多个单元区域，并且限定位于多个单元区域之间的、具有凹槽形状的凹槽线；第一管线插入到凹槽线中以接触凹槽线的内壁，并且具有敞开的上部部分。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111195776 A (43)申请公布日 2020.05.26 (21)申请号 20191

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