一种光刻甩胶时固定薄片式目标物的装置.pdfVIP

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2023-08-22 发布于四川
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一种光刻甩胶时固定薄片式目标物的装置.pdf

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本实用新型公开了一种光刻甩胶时固定薄片式目标物的装置，包括圆盘本体，设置在圆盘上表面周围的置物槽，所述置物槽的中心设置有应力孔，圆盘本体旋转时，置物槽线速度最大的位置沿着圆盘本体直径方向开通导胶槽，所述导胶槽与所述应力孔连通，在与导胶槽垂直方向开通有应力槽，所述应力槽与所述应力孔相连通，在圆盘本体的外周面垂直于应力槽的方向开通有螺孔，且所述螺孔贯穿所述应力槽并与圆盘本体连通。该装置可以对薄片式目标物进行固定，而且开通的导胶槽能很好地使多余光刻胶甩掉，大大减轻了局部光刻胶堆积的现象。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210181387 U (45)授权公告日 2020.03.24 (21)申请号 20192