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一种优化大马士革铜工艺的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-08-23 发布于四川
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一种优化大马士革铜工艺的制造方法.pdf

    本发明提供一种优化大马士革铜工艺的制造方法，提供一沉积有抑制层的金属间介质层；对该金属间介质层进行刻蚀，形成具有通孔和互连线沟槽的凹槽结构；在凹槽结构内沉积扩散阻挡层；在扩散阻挡层上沉积铜籽晶层；通过化学机械研磨技术，去除掉未开槽区域扩散阻挡层、铜籽晶层，露出抑制层；在凹槽结构内生长铜。本发明通过在刻蚀凹槽之前采用合适的抑制层材料，既可防止铜渗入，又可阻止铜在该层表面沉积。本发明通过工艺顺序的改变，只需进行化学机械研磨掉未开槽区域铜籽晶层，使得铜只能在没有抑制层覆盖的凹槽内生长，而不会在介质层表

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116631941 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310407214.X (22)申请日 2023.04.17 (71)申请人 浙江大学 地址 310030

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