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一种MEMS加速度计非线性度批量测试装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-08-23 发布于四川
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一种MEMS加速度计非线性度批量测试装置及方法.pdf

    本发明公开了一种MEMS加速度计非线性度批量测试装置及方法，包括测试工装，所述测试工装固定于离心机上，并在测试工装上安装多个MEMS加速度计，各MEMS加速度计分别连接到多通道的模数转换器的输入端，转换为数字信号，模数转换器输出数字信号依次通过微控制器、串口电平转换芯片转换为串口数据。本发明在测试工位上安装测试工装增加测试器件数量、将器件输出信号转换以及数据自动处理的方式提高测试效率、降低测试成本，实现单次多只器件同步测试、正负向同步测试的批量化测试方式。本发明基于MEMS加速度计敏感轴向分为两

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116626340 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310289938.9 (22)申请日 2023.03.23 (71)申请人 中国兵器工业集团第二一四研究所

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