1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

加热单元及包括其的基板处理装置.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.84万字
  • 约 20页
  • 2023-08-23 发布于四川
  • 举报

加热单元及包括其的基板处理装置.pdf

    提供了一种包括用于隔热的空气层的加热单元和包括加热单元的基板处理装置。基板处理装置包括：壳体，提供对基板进行处理的空间；加热单元，设置在壳体中并加热基板；冷却单元，设置在壳体中并冷却基板；以及传送单元，用于移动基板，其中加热单元包括：主体，其中包括加热器；第一空气层，设置在主体的内部以用于隔热，并且以第一方向作为其纵向而形成；以及第二空气层，设置在主体的内部以用于隔热，并且以第二方向作为其纵向而形成。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116631897 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310134521.5 (22)申请日 2023.02.17 (30)优先权数据 10-2022-0022285

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >